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隨著精密制造和前沿科研的快速迭代，精密角度定位的需求也愈發(fā)嚴(yán)苛，既要具備納米級(jí)的定位精度，也要適配極端工況的使用需求，更要貼合細(xì)分場(chǎng)景的個(gè)性化操作。在此背景下，芯明天S20A.R2S一維θz無(wú)磁壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)，作為S20A系列壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)的新晉核心成員，S20A.R2S基于細(xì)分場(chǎng)景需求的精準(zhǔn)研發(fā)，為半導(dǎo)體制造、精密光學(xué)、量子科研等領(lǐng)域，提供高效、穩(wěn)定的精密角度調(diào)整解決方案。

核心產(chǎn)品特點(diǎn)

精準(zhǔn)設(shè)計(jì)，適配專業(yè)工況

S20A.R2S壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)延續(xù)了無(wú)磁壓電定位技術(shù)的成熟積累，結(jié)合單向角度調(diào)整的應(yīng)用特性，在行程、承載、精度與環(huán)境適配性上具有針對(duì)性優(yōu)勢(shì)。

01、一維θz無(wú)磁結(jié)構(gòu)，杜絕磁場(chǎng)干擾

S20A.R2S采用一維θz軸單向旋轉(zhuǎn)設(shè)計(jì)，內(nèi)部結(jié)構(gòu)與關(guān)鍵材質(zhì)均經(jīng)過(guò)特殊無(wú)磁處理，從根源上消除磁場(chǎng)產(chǎn)生與干擾問(wèn)題。這一設(shè)計(jì)使其可直接應(yīng)用于電子束加工、量子實(shí)驗(yàn)等磁場(chǎng)敏感場(chǎng)景。

02、2mrad單向行程，滿足大角度調(diào)整需求

S20A.R2S可實(shí)現(xiàn)最大2mrad的單向旋轉(zhuǎn)行程，作為S20A系列的重要拓展，其單向行程與S20A.R1S-C1W的±0.7mrad雙向行程形成精準(zhǔn)互補(bǔ)，為單向角度補(bǔ)償、固定姿態(tài)設(shè)定等場(chǎng)景，提供了更大的操作空間。

03、3kg高承載能力，適配更多場(chǎng)景

在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上進(jìn)行優(yōu)化升級(jí)，S20A.R2S的額定承載能力達(dá)到3kg，可穩(wěn)定搭載重型光學(xué)鏡片、晶圓檢測(cè)夾具、精密探針卡等工件。更高的承載能力減少了多臺(tái)設(shè)備組合使用的成本，也節(jié)省了設(shè)備安裝空間。

04、納米級(jí)精度，保障定位一致性

S20A.R2S的線性度與重復(fù)定位精度同樣表現(xiàn)優(yōu)異，可長(zhǎng)期維持納米級(jí)的定位穩(wěn)定性與一致性。無(wú)論是長(zhǎng)時(shí)間的精密檢測(cè)，還是高頻次的角度設(shè)定，都能精準(zhǔn)輸出預(yù)設(shè)角度，為高精度加工、科研實(shí)驗(yàn)提供可靠的定位保障。

05、復(fù)合材質(zhì)設(shè)計(jì)，兼顧剛度與輕量化

整體采用不銹鋼+鋁合金復(fù)合材質(zhì)設(shè)計(jì)：既保障了設(shè)備的結(jié)構(gòu)剛度與耐磨性，確保高承載下的運(yùn)行穩(wěn)定性；又能實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品輕量化，讓設(shè)備的安裝與集成更加靈活便捷。

技術(shù)參數(shù)

適配應(yīng)用場(chǎng)景

覆蓋多領(lǐng)域精密定位需求

憑借高效、精準(zhǔn)的性能設(shè)計(jì)，S20A.R2S壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)可廣泛應(yīng)用于多個(gè)高端領(lǐng)域的精密定位場(chǎng)景，為各類核心工序提供穩(wěn)定支撐。

1、半導(dǎo)體制造

晶圓檢測(cè)實(shí)現(xiàn)晶圓和掩模版的精確對(duì)準(zhǔn)與定位、芯片鍵合探針卡微小角度調(diào)整等；

2、精密光學(xué)

真空環(huán)境下光路調(diào)整、激光加工光學(xué)元件角度設(shè)定、激光光束的偏轉(zhuǎn)與穩(wěn)定等；

3、生物工程

無(wú)磁環(huán)境下提供樣品在顯微鏡下進(jìn)行超高精度旋轉(zhuǎn)與操縱、醫(yī)療精密器械定位等；

4、精密計(jì)量與檢測(cè)

干涉儀、計(jì)量?jī)x的單向角度校準(zhǔn)，重型精密工件的尺寸檢測(cè)定位。

定制化服務(wù)：貼合每一個(gè)專屬需求

S20A.R2S壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)支持根據(jù)客戶的實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)景進(jìn)行個(gè)性化開(kāi)發(fā)，無(wú)論是行程范圍的微調(diào)、安裝接口的定制，還是控制方式的適配，芯明天都將為您提供從需求溝通到方案落地的全流程服務(wù)，確保產(chǎn)品與工況完美契合。

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