納米定位臺(tái)的特點(diǎn)和應(yīng)用
納米定位臺(tái)的特點(diǎn)和應(yīng)用
主要特點(diǎn)
高于行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)3倍速度：<4ms的階躍穩(wěn)定時(shí)間和100μm的閉環(huán)位移控制；600Hz的響應(yīng)頻率；20N/μm的剛度
裝備雙傳感器技術(shù)：在不同的負(fù)載下無需重新校準(zhǔn)；*的機(jī)械帶寬；
的ZSY納米傳感器定位性能：0.1nm的定位噪音；0.01%的線性度；0.005%的剩余磁滯；
免工具安裝適配器；
超級(jí)不脹鋼結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)獲得*的聚焦穩(wěn)定性。
納米定位臺(tái)應(yīng)用領(lǐng)域
表面結(jié)構(gòu)分析；
自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)；
共焦顯微鏡；
掃描干涉儀。
納米定位臺(tái)采用無摩擦無空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，采用有限元分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，具有超高的導(dǎo)向精度，定位精度可達(dá)納米級(jí)，分辨率達(dá)亞納米，毫秒級(jí)定位穩(wěn)定時(shí)間，產(chǎn)品體積小巧，結(jié)構(gòu)緊湊，易于集成到其他設(shè)備中。
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