適用于光透射及光反射的中空式壓電傾斜鏡
P36中空式壓電偏轉(zhuǎn)掃描鏡
（具有Φ10mm通光孔）
P36中空式壓電偏轉(zhuǎn)鏡的中心具有直徑10mm的通光孔徑，是專為光的透射（例如，光過濾）及反射應(yīng)用而設(shè)計(jì)。作為壓電偏轉(zhuǎn)鏡，它既可產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)又可產(chǎn)生直線運(yùn)動(dòng)，對(duì)光束的偏轉(zhuǎn)范圍可達(dá)1.6mrad；作為移相器，它的直線運(yùn)動(dòng)范圍可達(dá)12µm，也適于調(diào)節(jié)光的路徑長度。響應(yīng)速度快，可達(dá)亞毫秒。
特點(diǎn):
用于掃描、光學(xué)對(duì)準(zhǔn)及鏡子移動(dòng)裝置對(duì)準(zhǔn)；
Φ10mm中心通光孔；
壓電三腳設(shè)計(jì)；
光束偏轉(zhuǎn)可達(dá)1.6mrad；
活塞運(yùn)動(dòng)可達(dá)12μm（移相器）；
亞毫秒響應(yīng)，亞微弧度分辨率；
閉環(huán)版本具有更高精度；
用于光學(xué)、鏡片或其他部件；
無摩擦，高精度撓曲導(dǎo)向系統(tǒng)；
平行運(yùn)動(dòng)學(xué)擴(kuò)展動(dòng)態(tài)性及更好的多軸精度。
應(yīng)用案例
圖像處理/穩(wěn)定；
干涉法；
激光掃描/光束偏轉(zhuǎn)；
激光調(diào)諧；
光過濾/開關(guān)；
光束穩(wěn)定等。
P36多軸俯仰/偏轉(zhuǎn)平臺(tái)及Z向定位臺(tái)是基于壓電三腳式設(shè)計(jì)的快速、緊湊型元件。三腳式設(shè)計(jì)的特點(diǎn)是在較寬的溫度范圍內(nèi)具有優(yōu)化的角度穩(wěn)定性。
該壓電偏轉(zhuǎn)鏡設(shè)計(jì)可將鏡片或光學(xué)元件安裝在任意方向，且中空設(shè)計(jì)非常適于光過濾等。
P36壓電偏轉(zhuǎn)鏡的三腳驅(qū)動(dòng)方式，可在較大的溫度范圍內(nèi)提供*化的角度穩(wěn)定性；體積更小巧；兩軸具有相同的偏轉(zhuǎn)角度及相同的動(dòng)態(tài)性能；更快的響應(yīng)及更好的線性度；同時(shí)也防止了偏振旋轉(zhuǎn)。
內(nèi)部三支壓電陶瓷促動(dòng)器是由三通道控制器來分別單獨(dú)驅(qū)動(dòng)（用于俯仰/偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)）或者同時(shí)并聯(lián)驅(qū)動(dòng)（直線升降運(yùn)動(dòng)）。
結(jié)構(gòu)示意圖
在開環(huán)模式下，俯仰/偏轉(zhuǎn)角度與施加電壓基本成線性關(guān)系。P36開環(huán)型號(hào)非常適于高速、高分辨率、且角度定位是次要的（例如跟蹤）或由外部傳感（例如CCD，PSD）提供反饋的應(yīng)用。
控制及運(yùn)動(dòng)方式
1、開環(huán)Z向平臺(tái)控制方式
內(nèi)部三支壓電直線陶瓷促動(dòng)器并聯(lián)連接，提供頂部環(huán)在垂直方向的定位（活塞運(yùn)動(dòng)）。只需一個(gè)驅(qū)動(dòng)通道。
2、開環(huán)Z向/俯仰/偏轉(zhuǎn)定位器控制方式
內(nèi)部三支壓電直線陶瓷促動(dòng)器由一個(gè)三通道壓電放大器分別單獨(dú)驅(qū)動(dòng)（或并聯(lián)）?？蓪?shí)現(xiàn)垂直（活塞運(yùn)動(dòng)）定位及俯仰/偏轉(zhuǎn)定位。
高可靠性及長壽命
緊湊的P36系統(tǒng)配備加有預(yù)緊力的高性能壓電促動(dòng)器，集成到一個(gè)成熟的、通過FEA建模分析的、彎曲導(dǎo)向系統(tǒng)。內(nèi)部壓電促動(dòng)器為共燒型壓電陶瓷，提供非常好的性能及可靠性。
可配備鏡片轉(zhuǎn)接座
P36壓電偏轉(zhuǎn)鏡/移相器可選擇配套鏡片轉(zhuǎn)接座，以方便鏡片的安裝與固定，如下圖所示。
頻率負(fù)載曲線
P36壓電偏轉(zhuǎn)鏡的使用頻率與振動(dòng)幅度、負(fù)載情況、安裝方式等條件有關(guān)。下圖為P36隨負(fù)載的增加諧振頻率的變化曲線。
P36基本技術(shù)參數(shù)
型號(hào)，開環(huán)-K | 移相器 | 偏轉(zhuǎn)鏡 | 單位 |
P36.Z1K | P36.ZT1K | ||
運(yùn)動(dòng)自由度 | Z | Z、θx、θy | |
運(yùn)動(dòng)和定位 | |||
zui大偏轉(zhuǎn)角度 | - | 800 | μrad±20% |
Z向zui大行程 | 12 | 12 | µm±20% |
偏轉(zhuǎn)分辨率 | - | 0.02 | µrad，typ. |
直線分辨率 | 0.1 | 0.1 | nm，typ. |
機(jī)械性能 | |||
空載諧頻 | 7.5 | 7.5 | kHz±20% |
空載工作頻率 | 2000 | 1500 | Hz±20% |
空載工作頻率 | 200 | 150 | Hz±20% |
階躍時(shí)間(響應(yīng)時(shí)間) | 0.5 | 0.5 | ms±20% |
驅(qū)動(dòng)性能 | |||
靜電容量 | 0.4 | 0.4 | μF/軸±20% |
其他 | |||
工作溫度范圍 | -20~80 | °C | |
外形尺寸（直徑-內(nèi)徑/高） | 20-10/19.5 | mm | |
注：超低溫版本、超高真空版本及連接器等參數(shù)可定制。
P36驅(qū)動(dòng)與控制
光束偏轉(zhuǎn)角度為機(jī)械偏轉(zhuǎn)角度的兩倍。為了達(dá)到zui大偏轉(zhuǎn)角度，內(nèi)部三支陶瓷促動(dòng)器需要有偏置電壓75V。而由于平行運(yùn)動(dòng)學(xué)設(shè)計(jì)，直線行程和偏轉(zhuǎn)行程都是獨(dú)立的。
以下為推薦配套使用的壓電控制器及簡(jiǎn)單參數(shù)。
E01 | E53.A | E70 |
|
|
|
3路輸出 模擬、上位機(jī)通信、旋鈕 開環(huán)閉環(huán) 平均功率7W | 1路輸出 模擬輸入 開環(huán) 平均功率10W | 3路輸出 模擬與數(shù)字控制 開環(huán)閉環(huán) 平均功率5W/通道 |
（具有Φ10mm通光孔）
P36中空式壓電偏轉(zhuǎn)鏡的中心具有直徑10mm的通光孔徑，是專為光的透射（例如，光過濾）及反射應(yīng)用而設(shè)計(jì)。作為壓電偏轉(zhuǎn)鏡，它既可產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)又可產(chǎn)生直線運(yùn)動(dòng)，對(duì)光束的偏轉(zhuǎn)范圍可達(dá)1.6mrad；作為移相器，它的直線運(yùn)動(dòng)范圍可達(dá)12µm，也適于調(diào)節(jié)光的路徑長度。響應(yīng)速度快，可達(dá)亞毫秒。
特點(diǎn):
用于掃描、光學(xué)對(duì)準(zhǔn)及鏡子移動(dòng)裝置對(duì)準(zhǔn)；
Φ10mm中心通光孔；
壓電三腳設(shè)計(jì)；
光束偏轉(zhuǎn)可達(dá)1.6mrad；
活塞運(yùn)動(dòng)可達(dá)12μm（移相器）；
亞毫秒響應(yīng)，亞微弧度分辨率；
閉環(huán)版本具有更高精度；
用于光學(xué)、鏡片或其他部件；
無摩擦，高精度撓曲導(dǎo)向系統(tǒng)；
平行運(yùn)動(dòng)學(xué)擴(kuò)展動(dòng)態(tài)性及更好的多軸精度。
應(yīng)用案例
圖像處理/穩(wěn)定；
干涉法；
激光掃描/光束偏轉(zhuǎn)；
激光調(diào)諧；
光過濾/開關(guān)；
光束穩(wěn)定等。
P36多軸俯仰/偏轉(zhuǎn)平臺(tái)及Z向定位臺(tái)是基于壓電三腳式設(shè)計(jì)的快速、緊湊型元件。三腳式設(shè)計(jì)的特點(diǎn)是在較寬的溫度范圍內(nèi)具有優(yōu)化的角度穩(wěn)定性。
該壓電偏轉(zhuǎn)鏡設(shè)計(jì)可將鏡片或光學(xué)元件安裝在任意方向，且中空設(shè)計(jì)非常適于光過濾等。
P36壓電偏轉(zhuǎn)鏡的三腳驅(qū)動(dòng)方式，可在較大的溫度范圍內(nèi)提供*化的角度穩(wěn)定性；體積更小巧；兩軸具有相同的偏轉(zhuǎn)角度及相同的動(dòng)態(tài)性能；更快的響應(yīng)及更好的線性度；同時(shí)也防止了偏振旋轉(zhuǎn)。
內(nèi)部三支壓電陶瓷促動(dòng)器是由三通道控制器來分別單獨(dú)驅(qū)動(dòng)（用于俯仰/偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)）或者同時(shí)并聯(lián)驅(qū)動(dòng)（直線升降運(yùn)動(dòng)）。
結(jié)構(gòu)示意圖
在開環(huán)模式下，俯仰/偏轉(zhuǎn)角度與施加電壓基本成線性關(guān)系。P36開環(huán)型號(hào)非常適于高速、高分辨率、且角度定位是次要的（例如跟蹤）或由外部傳感（例如CCD，PSD）提供反饋的應(yīng)用。
控制及運(yùn)動(dòng)方式
1、開環(huán)Z向平臺(tái)控制方式
內(nèi)部三支壓電直線陶瓷促動(dòng)器并聯(lián)連接，提供頂部環(huán)在垂直方向的定位（活塞運(yùn)動(dòng)）。只需一個(gè)驅(qū)動(dòng)通道。
2、開環(huán)Z向/俯仰/偏轉(zhuǎn)定位器控制方式
內(nèi)部三支壓電直線陶瓷促動(dòng)器由一個(gè)三通道壓電放大器分別單獨(dú)驅(qū)動(dòng)（或并聯(lián)）?？蓪?shí)現(xiàn)垂直（活塞運(yùn)動(dòng)）定位及俯仰/偏轉(zhuǎn)定位。
高可靠性及長壽命
緊湊的P36系統(tǒng)配備加有預(yù)緊力的高性能壓電促動(dòng)器，集成到一個(gè)成熟的、通過FEA建模分析的、彎曲導(dǎo)向系統(tǒng)。內(nèi)部壓電促動(dòng)器為共燒型壓電陶瓷，提供非常好的性能及可靠性。
可配備鏡片轉(zhuǎn)接座
P36壓電偏轉(zhuǎn)鏡/移相器可選擇配套鏡片轉(zhuǎn)接座，以方便鏡片的安裝與固定，如下圖所示。
頻率負(fù)載曲線
P36壓電偏轉(zhuǎn)鏡的使用頻率與振動(dòng)幅度、負(fù)載情況、安裝方式等條件有關(guān)。下圖為P36隨負(fù)載的增加諧振頻率的變化曲線。
P36基本技術(shù)參數(shù)
型號(hào)，開環(huán)-K | 移相器 | 偏轉(zhuǎn)鏡 | 單位 |
P36.Z1K | P36.ZT1K | ||
運(yùn)動(dòng)自由度 | Z | Z、θx、θy | |
運(yùn)動(dòng)和定位 | |||
zui大偏轉(zhuǎn)角度 | - | 800 | μrad±20% |
Z向zui大行程 | 12 | 12 | µm±20% |
偏轉(zhuǎn)分辨率 | - | 0.02 | µrad，typ. |
直線分辨率 | 0.1 | 0.1 | nm，typ. |
機(jī)械性能 | |||
空載諧頻 | 7.5 | 7.5 | kHz±20% |
空載工作頻率 | 2000 | 1500 | Hz±20% |
空載工作頻率 | 200 | 150 | Hz±20% |
階躍時(shí)間(響應(yīng)時(shí)間) | 0.5 | 0.5 | ms±20% |
驅(qū)動(dòng)性能 | |||
靜電容量 | 0.4 | 0.4 | μF/軸±20% |
其他 | |||
工作溫度范圍 | -20~80 | °C | |
外形尺寸（直徑-內(nèi)徑/高） | 20-10/19.5 | mm | |
注：超低溫版本、超高真空版本及連接器等參數(shù)可定制。
P36驅(qū)動(dòng)與控制
光束偏轉(zhuǎn)角度為機(jī)械偏轉(zhuǎn)角度的兩倍。為了達(dá)到zui大偏轉(zhuǎn)角度，內(nèi)部三支陶瓷促動(dòng)器需要有偏置電壓75V。而由于平行運(yùn)動(dòng)學(xué)設(shè)計(jì)，直線行程和偏轉(zhuǎn)行程都是獨(dú)立的。
以下為推薦配套使用的壓電控制器及簡(jiǎn)單參數(shù)。
E01 | E53.A | E70 |
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3路輸出 模擬、上位機(jī)通信、旋鈕 開環(huán)閉環(huán) 平均功率7W | 1路輸出 模擬輸入 開環(huán) 平均功率10W | 3路輸出 模擬與數(shù)字控制 開環(huán)閉環(huán) 平均功率5W/通道 |
17051647888
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