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壓電掃描臺是由壓電疊堆陶瓷驅(qū)動的、電壓信號控制、可產(chǎn)生微納米級步進及位移的運動平臺。芯明天壓電掃描臺步進精度一般可達約3nm，運動范圍約0~500μm ，壓電掃描臺的運動方向可分為X向、Z向、XY向或XYZ向運動。

壓電掃描臺是壓電納米定位臺的一種，主要的不同是在中心增加了通孔，更適于透光應(yīng)用。

以下為芯明天公司生產(chǎn)的幾種典型壓電掃描臺。

P78.Z300壓電掃描臺集成于顯微聚焦系統(tǒng)

P78.Z300壓電掃描臺是產(chǎn)生Z向運動的壓電掃描臺，它的Z向運動范圍可達300μm，步進分辨率可達5nm，非常適于顯微成像調(diào)節(jié)。

P78.Z300壓電掃描臺基本技術(shù)參數(shù)如下：

· 行程范圍：300μm 

· 運動方向：Z向

· 分辨率：5nm

· 承載能力：0.5kg

· 通孔尺寸：64×64mm

· 外形尺寸：100×100×30mm

為方便P78.Z300壓電掃描臺帶載樣品，可加工制作轉(zhuǎn)接裝置，如果您自己進行加工，轉(zhuǎn)接裝置加工的平面度、粗糙度、平行度等要足夠高，才能保證不影響樣品聚焦精度，另外要注意轉(zhuǎn)接裝置也是壓電掃描臺的負(fù)載，需考慮其與樣品的總質(zhì)量在壓電掃描臺的負(fù)載能力范圍。下圖為一種簡單的轉(zhuǎn)接裝置。

在標(biāo)準(zhǔn)顯微成像系統(tǒng)中，一般步進精度達不到納米量級，在顯微成像系統(tǒng)中集成P78.Z300壓電掃描臺，可大幅提高聚焦的精度。

下圖中，左圖為一個未集成壓電掃描臺且物鏡倒置使用的成像系統(tǒng)；右圖為在此成像系統(tǒng)中集成了P78.Z300壓電掃描臺后的外觀效果。該系統(tǒng)的空間充足，對壓電掃描臺的高度無特殊限制。而對于空間受限的成像系統(tǒng)，可選用芯明天P12、N12、P79或P11等壓電掃描臺，具有更低的高度，集成所需空間更小。

在成像系統(tǒng)中集成壓電掃描臺的優(yōu)勢

1、大幅提高聚焦精度，達納米量級

2、成本大幅降低

3、電壓信號控制，聚焦速度快，達亞毫秒至毫秒量級

4、易集成，安裝便捷，可定制