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XD-301 壓電偏轉(zhuǎn)鏡是專為大負載及高動態(tài)應(yīng)用而設(shè)計，它的偏轉(zhuǎn)角度可達2.8mrad，可承載Φ110×10mm鏡片（約245g)。0.2mrad 偏轉(zhuǎn)角度的響應(yīng)時間為2ms，±0.1mrad 偏轉(zhuǎn)角度下的使用頻率可達250Hz。

產(chǎn)品特點

• θx, θy 二維偏轉(zhuǎn)

• 大偏轉(zhuǎn)角度2.8mrad

• 亞毫秒響應(yīng)時間

• 閉環(huán)定位精度高

• 溫度穩(wěn)定性高

產(chǎn)品應(yīng)用

• 圖像處理/ 穩(wěn)定

• 隔行掃描，抖動

• 激光掃描/ 光束偏轉(zhuǎn)與穩(wěn)定

• 光學/掃描顯微

• 光過濾/ 開關(guān)

高可靠性及穩(wěn)定性

XD-301系統(tǒng)內(nèi)部裝配帶有預(yù)緊力的高可靠性壓電促動器，被集成在成熟的、經(jīng)過FEA 建模分析的鉸鏈導向系統(tǒng)。壓電促動器為疊堆共燒型壓電陶瓷，可提供更好的穩(wěn)定性及可靠性。

先進的鉸鏈/ 杠桿設(shè)計將慣性小化，具有非?？斓捻憫?yīng)速度，在毫秒級范圍。

XD-301還提供了亞微弧度的分辨率。內(nèi)部集成高分辨率、全橋的應(yīng)變傳感器（SGS）實現(xiàn)了的位置控制，具有優(yōu)異的重復(fù)定位精度。

閉環(huán)定位精度

線性度為0.2%F.S.，重復(fù)度為0.1%F.S.。

閉環(huán)重復(fù)度

閉環(huán)重復(fù)度

開環(huán)曲線

開閉環(huán)曲線

閉環(huán)分辨率

閉環(huán)分辨率

技術(shù)參數(shù)

技術(shù)參數(shù)