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精密定位技術對定位系統(tǒng)的精度和行程提出了越來越高的要求，壓電機構驅動宏微復合對這一要求提供了關鍵的技術支持，解決了其要求行程大、定位精度高等技術難題，同時還具備了體積小、響應速度快、出力大等技術優(yōu)勢。

芯明天壓電宏微復合機構是手動調節(jié)與電壓調節(jié)相結合的超精密定位臺。控制結構分為兩部分，一部分為手動調節(jié)臺，通過千分尺進行調節(jié)；另一部分為壓電納米定位臺，內部由壓電陶瓷驅動，通過施加電壓來控制。在粗調機構中，可調整的直線運動行程為13mm，分辨率為10μm。在精調機構中，可調整的直線運動行程可達100μm，分辨率為2.5nm。可通過兩種調節(jié)結合來達到納米級定位精度。

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以P84系列壓電宏微復合機構為例

特點：

· X向運動，1至3維自由組合；

· 易于調節(jié)，分辨率可達2.5nm

· 粗調行程13mm/軸

· 精調行程100μm/軸

· 壓電調節(jié)可選配閉環(huán)傳感器

· 結構緊湊，體積小巧

技術參數(shù)：

P84宏微復合機構可與宏動平臺配合使用，1~3維自由組合，組成大行程高精度運動平臺。