差分驅動壓電納米定位臺-P16系列升級版
P16系列壓電平臺是以小體積、大位移而聞名，它的外形尺寸僅60×60×20mm，位移行程可選50μm或100μm，非常小的體積及較低的高度提供了較大的位移。
P16系列XY二維運動壓電平臺，它的中心具有φ20mm的中心通孔，非常適用于光學應用。
近期，芯明天公司對P16系列進行了升級，對結構和外觀進行了改善，使之更加一體化，同時，可靠性也大幅提高。
安裝接口
需帶載的負載可通過移動面上間距25mm的4個M3螺紋孔或間距16mm的4個M2螺紋孔進行固定，機械接口，安裝便捷。
驅動原理
P16系列壓電平臺是一款特別的運動平臺，它采用差分式驅動控制，雖然是二維運動，但它需要一臺具有恒壓的三通道壓電控制器驅動，這是因為它內部每軸的運動都采用兩組壓電陶瓷差分式驅動，如下圖所示。
使用說明/位移曲線
由于差分驅動，P16壓電平臺的開/閉環(huán)位移曲線與非差分驅動式壓電平臺的會略顯不同。以150V驅動電壓為例，X軸方向的閉環(huán)位移與控制電壓的關系如下圖所示，Y軸方向的位移&電壓曲線與X軸相同。
閉環(huán)位移曲線
從上圖中可看出，在控制電壓為75V時，移動平面的位置會回到施加電壓前的初始位置。
技術參數
型號：P16.XY100S/K
運動自由度：X Y
標稱行程范圍：80或±40μm/軸@120V
行程范圍：100或±50μm/軸@150V
傳感器類型：SGS
通孔尺寸：φ20mm
閉/開環(huán)分辨率：10/5nm
閉環(huán)線性度：0.4%F.S.
閉環(huán)重復定位精度：0.1%F.S.
俯仰/偏航/滾動：<25μrad
推/拉力：30N
運動方向剛度：0.5N/μm
空載諧振頻率：400Hz
閉/開環(huán)空載階躍時間：10/1.6ms
閉環(huán)空載工作頻率：100Hz@10%行程
閉環(huán)空載工作頻率：10Hz@行程
承載能力：1.5kg
靜電容量：3.6μF/軸
材質：鋼、鋁
重量：220g
注：P16.XY50S/K的位移范圍50μm或±25μm。
典型應用
• 顯微成像 • 表面檢測 • 干涉 / 計量 • 精密定位 • 光學 • 微操作
