壓電陶瓷致動器的直線運動應(yīng)用
壓電陶瓷致動器做為相關(guān)應(yīng)用技術(shù)時，通常要求運動幾納米或更高的分辨率，亞毫米或微米級行程范圍的應(yīng)用在線性運動中并不少見。為了說明這一點，下面是一些行業(yè)和應(yīng)用的例子，在這些行業(yè)和應(yīng)用中，壓電陶瓷致動器通常是優(yōu)秀解決方案。
微升和納升分配
當(dāng)需要分配微升或納升體積時，它需要精確的運動來控制分配，由壓電陶瓷致動器促動隔膜泵或閥門是一種常見的解決方案。通過給壓電陶瓷施加電壓，改變其位移的大小和速率，從而達到微升或納升分配的目的。壓電致動器的位移決定分配體積，致動器的工作頻率控制流量，壓電陶瓷致動器具有分辨率高、體積小易于集成、功耗低等優(yōu)點。
微定位和納米定位
在顯微鏡、診斷和高精度制造應(yīng)用中，通常需要納米級的分辨率。例如，導(dǎo)光板加工需要將加工刀頭定位在距離工件只有幾微米的距離，在高頻率和亞納米分辨率的范圍內(nèi)進行加工運動。壓電陶瓷致動器是為數(shù)不多的能夠滿足這些要求的運動裝置之一，其高諧振頻率為控制回路提供了穩(wěn)定性。
減震抑振
壓電堆疊致動器可以輸出幾千牛頓的力，可以用于精密工作臺或其他振動敏感設(shè)備的主動減振，使其成為理想的減振裝置。例如，可以在機床中集成壓電陶瓷致動器，以在機床的控制回路中產(chǎn)生反向運動，減輕振動，從而提高加工精度和工件質(zhì)量。
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