芯明天壓電納米探針臺
芯明天壓電納米探針臺主要由壓電陶瓷作為驅(qū)動的壓電馬達和探針組成，在新材料、新能源、半導體、生物醫(yī)藥、基礎(chǔ)科研等前沿領(lǐng)域中具有廣泛的應(yīng)用，主要作用是完成納米級別物性測量以及納米級別運動操作，可在三維空間上實現(xiàn)精準定位。隨著分析儀器技術(shù)的高端化發(fā)展，以及不斷拓寬的應(yīng)用場景，壓電納米探針臺成為了分析儀器的重要組成部分。
芯明天壓電納米探針臺的運動形式是多樣化的，可任意選擇納米探針臺的運動維度、運動方向、運動范圍、運動精度、探針模組數(shù)量、探針夾具類型等。本次介紹一款具有中心探針平臺并搭配4個探針模組的納米探針臺系統(tǒng)。
芯明天壓電納米探針臺
此款芯明天壓電納米探針臺具有中心探針臺，并搭配4個納米探針臺模組。產(chǎn)品外觀如下圖所示。
中心探針臺，可進行XYZ三軸運動，XY向運動行程≥20mm，Z向運動行程≥20μm，可在低溫真空環(huán)境下使用，使用溫度范圍在0℃到60℃，使用真空度可達到10^-4Pa。四個探針模組可進行XYZ直線及R旋轉(zhuǎn)運動，XY方向行程≥5mm，Z向行程≥0.5mm，探針的R向旋轉(zhuǎn)達180°。
產(chǎn)品特點
每個探針擁有7個運動維度
毫米運動與微米運動相結(jié)合
毫米行程達≥20mm
高精度可達≤2nm
使用溫度范圍達0℃到60℃
真空環(huán)境使用條件達10^-4Pa，可定制
運動軸、行程、速度、外形尺寸、固定接口等可定制
產(chǎn)品應(yīng)用
半導體行業(yè)、電學性能測試分析、材料、新能源、物理學、生物醫(yī)學及其他等。
技術(shù)參數(shù)
配套控制器
E53.D1E系列壓電控制器適用于驅(qū)動芯明天壓電納米探針臺。它是單通道壓電控制器，采用數(shù)字控制，可閉環(huán)伺服或開環(huán)控制，外觀體積非常小巧，尺寸僅為105×103×30.1mm^3，非常適配于尺寸緊湊的壓電納米探針臺。
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