N18系列小體積直線(xiàn)壓電馬達(dá)位移臺(tái) - 低溫、無(wú)磁、真空兼容！
在科技高速迭代的今天，各行業(yè)對(duì)精密運(yùn)動(dòng)控制的追求不斷攀升，從前沿的半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，到關(guān)乎生命健康的生物醫(yī)療領(lǐng)域，從探索宇宙奧秘的航空航天領(lǐng)域，到日常的智能電子設(shè)備，高精度、高可靠性的直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)需求無(wú)處不在。直線(xiàn)壓電馬達(dá)位移臺(tái)以其大行程、高精度和快速的響應(yīng)速度等性能優(yōu)勢(shì)，成為推動(dòng)眾多行業(yè)邁向新高度的核心力量。
芯明天部分直線(xiàn)壓電馬達(dá)位移臺(tái)
N18系列小體積直線(xiàn)壓電馬達(dá)位移臺(tái)- 低溫、無(wú)磁、真空兼容！
N18系列壓電馬達(dá)位移臺(tái)為直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，利用粘滑原理驅(qū)動(dòng)，通過(guò)特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，將壓電陶瓷的直線(xiàn)微位移，轉(zhuǎn)換為宏動(dòng)直線(xiàn)毫米行程，實(shí)現(xiàn)高精度定位。位移方向可選X向和Z向兩種運(yùn)動(dòng)方式，行程可達(dá)5mm，分辨率可達(dá)6nm，速度可達(dá)3mm/s，可在低溫、真空、無(wú)磁的應(yīng)用環(huán)境中使用。小體積設(shè)計(jì)，便于部署與集成，為設(shè)備小型化、集成化發(fā)展注入強(qiáng)勁動(dòng)力。產(chǎn)品外觀(guān)如下圖所示。
產(chǎn)品特點(diǎn)
運(yùn)動(dòng)自由度：X或Z行程可達(dá)5mm低溫、真空、無(wú)磁粘滑原理驅(qū)動(dòng)工作溫度范圍：-40~50℃斷電自鎖
典型應(yīng)用
半導(dǎo)體—光刻機(jī)掩模臺(tái)定位、晶圓加工檢測(cè)、激光直寫(xiě)等，精度決定良率！
生物醫(yī)療—超分辨率顯微成像、細(xì)胞操作、納升配藥等，精準(zhǔn)掌控生命科學(xué)！
精密光學(xué)—光學(xué)干涉、光路調(diào)整、激光加工等，讓光學(xué)系統(tǒng)更穩(wěn)定！
航空航天—衛(wèi)星激光通信、天文望遠(yuǎn)鏡、穩(wěn)像等，保障關(guān)鍵任務(wù)執(zhí)行！
技術(shù)參數(shù)
| 型號(hào) | N18.X5K | N18.Z5K | |
| 運(yùn)動(dòng)自由度 | X | Z | |
| 標(biāo)稱(chēng)行程范圍 | 5mm或±2.5mm | ||
| 速度上限 | 3mm/s | ||
| 分辨率 | 6nm | ||
| 推/拉力 | 3N | ||
| 保持力 ( 斷電自鎖） | 3N | ||
| 承載能力 | 水平安裝 | 250g | 150g |
| 加載后速度上限 | 水平安裝 | 3mm/s@250g | 2mm/s@150g |
| 工作溫度 | -40℃~50℃ | ||
| 出線(xiàn)長(zhǎng) | 1.5m | ||
| 材質(zhì) | 鈦 | ||
| 重量 | 19g | 40g | |
配套控制器
E53.C1K-J壓電控制器非常適用于驅(qū)動(dòng)N18系列壓電馬達(dá)位移臺(tái)，它是單通道開(kāi)環(huán)壓電控制器，采用數(shù)字控制，24VDC供電，靜態(tài)功耗小于5W，通信接口為T(mén)YPE-C、RS-422、RS-232操作便捷，尺寸僅105×103×30.1mm^3，外觀(guān)體積小巧，結(jié)構(gòu)緊湊，易于集成。
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