產(chǎn)品名稱(chēng)：芯明天直驅(qū)機(jī)構(gòu)式壓電納米定位臺(tái)
產(chǎn)品型號(hào)：XP-63X
產(chǎn)品報(bào)價(jià)：
產(chǎn)品特點(diǎn)：芯明天直驅(qū)機(jī)構(gòu)式壓電納米定位臺(tái) XP-63X壓電納米定位臺(tái)為壓電陶瓷直驅(qū)X軸運(yùn)動(dòng)定位臺(tái)，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，具有剛度大、分辨率高、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)，可以通過(guò)自由組合的方式組成二維XY、三維XYZ納米定位臺(tái)。
更新日期：2026-02-27
芯明天直驅(qū)機(jī)構(gòu)式壓電納米定位臺(tái)特性
1~3維自由組合
大行程68μm
大承載5kg
重復(fù)定位精度可達(dá)0.05%F.S.
亞毫秒響應(yīng)時(shí)間
1-3維平移臺(tái)
XP-63X系列壓電納米定位臺(tái)可以通過(guò)疊加的方式組成XY，XZ，XYZ多種運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)。多種規(guī)格型號(hào)可選。
柔性鉸鏈采用精密線切割技術(shù)。
體積小、剛度大、響應(yīng)速度快、閉環(huán)精度高
XP-63X系列壓電納米定位臺(tái)特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，具有大機(jī)械剛度、大承載、更高的空載諧振頻率等特點(diǎn)。負(fù)載情況下也具有很高的使用頻率，響應(yīng)時(shí)間可以實(shí)現(xiàn)亞毫秒級(jí)。例如XP-630帶動(dòng)20g負(fù)載，響應(yīng)時(shí)間僅為5ms。
XP-63X系列產(chǎn)品體積小巧，XP-630一維尺寸僅為60×45×18mm，易于與其他平臺(tái)設(shè)備集成。閉環(huán)版本配置應(yīng)變傳感器，可實(shí)時(shí)檢測(cè)位置信號(hào)并反饋給閉環(huán)控制器，控制器通過(guò)PID算法對(duì)檢測(cè)到的位置信號(hào)進(jìn)行修正，從而實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的精密定位。
閉環(huán)版本配置應(yīng)變傳感器，可實(shí)時(shí)檢測(cè)位置信號(hào)并反饋給閉環(huán)控制器，控制器通過(guò) PID 算法對(duì)檢測(cè)到的位置信號(hào)進(jìn)行修正，從而實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的精密定位。
芯明天直驅(qū)機(jī)構(gòu)式壓電納米定位臺(tái)應(yīng)用實(shí)例
采用XP-633壓電納米定位臺(tái)帶動(dòng)探針作精密位移定位檢測(cè)控制，從而完成1mN的精確力控制實(shí)驗(yàn)。
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