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產(chǎn)品名稱：XP-62X一維X向壓電納米定位臺(tái) 15μm-60μm

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產(chǎn)品特點(diǎn)：XP-62X一維X向壓電納米定位臺(tái) 15μm-60μm
XP-62X系列壓電納米定位臺(tái)是采用封裝型壓電促動(dòng)器直接驅(qū)動(dòng)，具有大承載、響應(yīng)速度快、可靠性高和使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)。內(nèi)置高分辨率SGS傳感器進(jìn)行全閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制，高諧振頻率和大拉力使得該系列納米定位臺(tái)適用于精密加工等領(lǐng)域。

更新日期：2026-02-27

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XP-62X一維X向壓電納米定位臺(tái) 15μm-60μm的詳細(xì)資料：

XP-62X一維X向壓電納米定位臺(tái) 15μm-60μmXP-62X系列壓電納米定位臺(tái)是采用封裝型壓電促動(dòng)器直接驅(qū)動(dòng)，具有大承載、響應(yīng)速度快、可靠性高和使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)。內(nèi)置高分辨率SGS傳感器進(jìn)行全閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制，高諧振頻率和大拉力使得該系列納米定位臺(tái)適用于精密加工等領(lǐng)域。

XP-62X一維X向壓電納米定位臺(tái) 15μm-60μm

特性

• 大行程60μm • 亞毫秒響應(yīng)時(shí)間 • 大承載10kg • 1~3維自由組合 • 重復(fù)定位精度可達(dá)0.05%F.S.

1~3維平移	產(chǎn)品外觀	直驅(qū)機(jī)構(gòu)式驅(qū)動(dòng)示意圖

大負(fù)載、高剛度、高諧振頻率、高穩(wěn)定性

傳感器類型

頻率負(fù)載曲線

XP-62X系列壓電納米定位臺(tái)采用壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)，優(yōu)異的柔性鉸鏈設(shè)計(jì)，具有高剛度、高頻響等特點(diǎn)，剛度可達(dá)40N/μm，空載諧振頻率高達(dá)4.2kHz，適用于需要大負(fù)載、高頻率需求的應(yīng)用，如電化學(xué)加工等。
XP-62X系列壓電平臺(tái)內(nèi)置帶有預(yù)緊力的封裝型壓電陶瓷，平臺(tái)采用有限元建模分析、柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，無(wú)磨損、免維護(hù)，提供*的穩(wěn)定性。該產(chǎn)品易于與其他宏動(dòng)臺(tái)產(chǎn)品集成配套，實(shí)現(xiàn)更大行程的精密定位。

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