N31系列三維壓電馬達(dá)
三維閉環(huán)壓電馬達(dá)可在XYZ三個(gè)方向運(yùn)動(dòng)，配備有增量式編碼器進(jìn)行閉環(huán)控制。內(nèi)部采用PZT壓電式驅(qū)動(dòng)，每軸運(yùn)動(dòng)行程可選25、50、100mm，可達(dá)納米級(jí)分辨率。
產(chǎn)品特點(diǎn)
行程25、50、100mm/軸可選
納米級(jí)分辨率
增量式編碼器
承載達(dá)2.5kg
產(chǎn)品應(yīng)用
超分辨成像樣品移動(dòng)
微納裝備及制造
掃描電鏡（SEM）樣品操縱
納米聚焦與掃描
主動(dòng)光學(xué)
集成電路制造與檢測
顯微及納米CT
大范圍電子束直寫（EBL）
高真空樣品精度對(duì)準(zhǔn)及調(diào)姿
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